为确保划片机在晶圆切割、芯片制造等精密工艺中具备高稳定性、高精度与一致性，特制定划片机校准规范，用以指导日常操作人员和设备工程师在进行设备校准时的步骤、频率与注意事项，提升产品良率，降低设备误差带来的不良风险。

一、适用范围

本规范适用于本公司所有型号的划片机设备，包括自动划片机和手动划片机，适用于新机调试、定期校准、搬迁复位及异常维修后的校准操作。

二、校准周期

1. 日常校准：操作员每日开机前需检查主轴运行状态、划片刀片安装偏差与冷却液流量等基本项。
2. 周期性校准：每月由设备工程师执行精密校准，包括划片轨迹精度、Z轴刀深校准、CCD定位系统校准等。
3. 特殊情况校准：

* 设备移动或震动后；
* 更换主轴、滑轨、导轨等关键部件后；
* 产品划片出现偏位、崩边等异常现象时；
* 接到客户反馈或品质异常报告时。

三、校准工具与准备

1. 标准划片基准片（玻璃基准片或硅基准片）
2. 高精度显微镜或CCD监视系统
3. 校准规尺（激光测距或机械量规）
4. 工具包（螺丝刀、卡规、六角扳手等）
5. 校准记录表单与文档记录系统

四、校准项目与方法

1. X/Y轴运动精度校准

* 使用标准划片图形，通过CCD摄像头观察路径是否对准预设划线；
* 校验步进电机移动距离是否与控制系统设定一致，误差应小于±2μm。

2. Z轴刀深校准

* 利用刀深量规或测试基板，校准划片刀进入深度；
* 标准偏差控制在±1μm以内，避免过浅或过深划片导致切割不良。

3. 划片路径直线度校准

* 使用标准玻璃片进行划线，观察是否存在偏弯、偏斜；
* 误差控制在±3μm以内，需调节导轨或软件参数修正。

4. CCD定位系统校准

* 利用十字定位图形调整摄像机角度与焦距；
* 校准图像放大倍率与实际坐标对齐误差不得超过±1μm。

5. 刀片旋转平衡性与偏心校准

* 用显微镜检测刀片运行时是否有跳动；
* 必要时更换刀法兰或重新安装刀片，确保无偏心状态。

五、校准结果记录

所有校准项目须如实记录于《划片机校准记录表》中，标注校准人员、时间、设备编号、校准内容、误差值及调整措施等。校准记录需存档至少两年，供品管与客户稽核使用。

六、注意事项

1. 校准过程必须在洁净室或无尘环境中进行；
2. 禁止未经培训人员擅自进行设备校准；
3. 校准过程中发现设备异常，应及时上报设备工程师处理；
4. 校准用工具必须定期溯源，确保其测量准确性。

通过严格执行划片机校准规范，不仅能够提升生产良率与产品一致性，还可延长设备使用寿命，预防重大品质风险，保障企业持续的制造能力和客户满意度。各部门应高度重视并落实本规范要求。

划片机操作流程

划片机是用于晶圆、芯片、玻璃、陶瓷等材料精密切割的关键设备。其操作流程直接关系到产品良率与设备使用寿命。为规范操作步骤，提高生产效率与加工质量，制定本划片机标准操作流程，适用于本公司各类自动或半自动划片机。

一、操作人员要求

1. 必须经过设备操作培训合格，持证上岗；
2. 熟悉划片工艺、材料特性、安全操作规程；
3. 熟练掌握常见异常判断与简单处理能力。

二、开机准备

1. 环境检查

* 保持工作区域清洁，无杂物；
* 确认室温、湿度符合设备使用条件；
* 确认电源、气源、水源正常连接。

2. 设备检查

* 打开设备电源与操作面板；
* 检查主轴、刀片、导轨是否有异物或损伤；
* 检查冷却液水箱是否加满，液体是否清洁；
* 检查真空吸附平台是否干净平整，确保吸力正常。

3. 刀片安装与检查

* 按要求安装适配刀片，使用力矩扳手固定；
* 检查刀片无缺口、无偏心，转动顺畅；
* 输入刀片参数（外径、厚度、最大转速）至系统中。

三、产品装载与参数设定

1. 晶圆装片

* 用吸笔或真空吸具轻放晶圆于载台或卡盘，确保居中；
* 启动真空吸附，检查是否牢固贴合。

2. 参数设定

* 根据产品BOM设定划片路径、切割深度、进给速度、主轴转速等参数；
* 导入程序文件或通过图像系统设定划片起始点；
* 调整CCD视觉对位系统，确保X/Y对位精准。

四、试划与确认

1. 试划操作

* 先执行干跑（不切割，仅走路径）确认轨迹正确；
* 再执行试划（切割废片），检查切割深度、路径、刀痕是否正常；
* 检查边缘是否崩裂、偏位或残料，若异常需调整参数或换刀。

2. 确认OK后批量执行

* 核对产品型号、批次、工艺参数是否一致；
* 启动批量划片程序，观察前几片运行情况；
* 操作过程中不得随意离岗，需随时监控设备运行状态。

五、划片结束与卸片

1. 切割完成后停机

* 关闭主轴、切割程序；
* 停止冷却水、真空吸附；
* 小心取下切割后晶圆，置于指定载具或托盘中；
* 检查碎片、刀痕、崩边等外观问题，异常及时记录上报。

2. 清洁维护

* 清理设备表面、真空平台、刀头区域残渣；
* 更换冷却液或过滤棉，保持设备洁净；
* 记录设备使用情况、操作人员、产品批次等信息。

六、安全注意事项

1. 操作时严禁裸手接触刀片或旋转主轴；
2. 非专业人员不得打开机体或更改系统参数；
3. 遇到设备报警或异常声音应立即停机排查；
4. 作业完成必须关电断气，做好交接记录。

通过规范划片机的操作流程，既可确保设备安全运行，又能提升产品加工良率与一致性，是保障生产高效、稳定的关键环节。各操作员必须严格遵守本流程，并配合定期培训和考核，持续提升操作水平和设备使用效率。